当前位置:

OFweek传感器网

力学传感

正文

薄膜压力传感器系列:我国薄膜压力传感器已跻身世界先进行列

导读: 近年来,我国在薄膜压力传感器技术研发及产品生产方面取得了许多突破,薄膜压力传感器整体性能已达到世界先进水平,有些指标达到世界领先水平。

产品在不做任何补偿情况下,综合精度(含重复性误差、回程误差和线性误差)优于0.1%FS,零点温度漂移最好可达0.0002%FS/℃,产品检定结果见图1所示。产品工作温度可达150℃、200℃、250℃甚至300℃。产品长期稳定性不大于0.1%FS/年,桥臂电阻不小于5K?。

 

        达到以上性能指标,产品采用了独有的多项专利技术:

 

 

      (1):特殊金属弹性体技术。这种特殊的弹性体材料克服了现有压力传感器常规弹性体的缺点,具有杨氏模量小、耐高温、抗腐蚀、弹性应变大的特点。

 

      (2):极低温度系数新组分合金敏感材料技术。采用特殊组分的NiCr金属材料,添加特殊元素制作新型敏感材料,在400℃高温下可长期稳定工作,且TCR≤2ppm/℃。它和其它几种敏感材料的性能对比如下表1所示。

      (3):纳米功能薄膜设计与制备技术。采用自行研究的真空纳米薄膜制备系统(如下图3所示)制备优质的纳米量级功能薄膜、钝化层薄膜、过渡层薄膜以及保护层薄膜,保证压力传感器的综合性能。由于纳米粒子的表面积巨大的活性效应和纳米膜界面的增韧、抗裂纹效应,该种纳米薄膜,致密、附着力大大提高;界面原子结合,提高了疲劳性能,传感器蠕变和滞后极小,改善了传感器的静态特性;膜的散热性好,改善了传感器温度性能;膜针孔少,提高了绝缘性能。使得这种薄膜压力传感器同时具有高精度、高稳定性、高工作温度和耐恶劣环境的优良性能。

        通过以上多项关键技术的突破,薄膜压力传感器的整体性能指标得到较大幅度的提高,其整体性能达到世界先进水平。这种高性能的薄膜压力传感器产品,可广泛应用于航空航天、武器装备、石油化工、冶金、机械、电力、核工业、交通等行业或领域。

声明: 本文由入驻OFweek公众平台的作者撰写,除OFweek官方账号外,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

我来说两句

(共0条评论,0人参与)

请输入评论

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码: