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“MEMS传感器产业化”入选《中国制造2025》2017重大标志性项目

导读: 近日,国家工业和信息化部下发意见函,中国工程院组织遴选的MEMS传感器产业化等16个项目,拟作为《中国制造2025》2017年重大标志性项目。

近日,国家工业和信息化部下发意见函,中国工程院组织遴选的MEMS传感器产业化等16个项目,拟作为《中国制造2025》2017年重大标志性项目。其中,由清华大学与淄博高新区合作建设的MEMS传感器产业化项目位列其中,这是山东省唯一入选的项目。

MEMS传感器产业化项目是国高(淄博)微系统科技有限公司、淄博高新技术产业开发区MEMS研究院等单位共同建立的国内一流的MEMS代工线。MEMS代工线是国内首家专业化的中试代工平台,也是山东省第一家批量生产微型传感器的专业化平台。MEMS技术是特征尺度跨越微米和纳米两个邻接微小领域的高新技术,也是信息化、智能化的关键核心技术,MEMS传感器技术具有微型化、低成本、低功耗、高可靠、高性能等诸多优势,是当今世界制造业的趋势和热点。

据MEMS传感器产业化项目负责人介绍,国高(淄博)微系统公司拥有先进的代工模式,从自主知识产权、生产控制等方面全方位入手,以智能制造设备应用、装置自动化方案为基础,在实现各项生产经营管理工作信息化的同时,有效打通了企业智能制造的数据通道。

MEMS孵化器已建成10万平方米,形成稳定的45个单项工艺和17个产品工艺流程。国家高新区MEMS研究院成立了国内MEMS领域15名顶尖专家组成的专家委员会,负责高精度陀螺仪、MEMS继电器和加速度计等器件研发,引领平台的发展方向及工艺评审。去年9月份,清华大学、同方股份、淄博高新区三方达成战略合作协议,研究院建设、平台发展、基金设立、项目落地、产业园区建设等协议内容的各项工作正在快速推进。高新区将在现有加工设备条件和环境下,开展MEMS制造技术封装与装配过程中关键技术的研究和开发,真正解决其关键技术形成核心发明专利,为进一步的产业化奠定良好的知识产权基础。

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