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赵玉龙:深耕MEMS传感器领域的探路人

导读: “其实我没什么特别之处,只是专注做MEMS(微机电系统)传感器,坚持在这个领域里探索新知。”

人物简介

赵玉龙,1968年出生,教育部长江学者特聘教授,享受国务院特殊津贴专家,西安交大教授、博士生导师,曾获得国家技术发明二等奖。

赵玉龙:深耕MEMS传感器领域的探路人

(由西安交大宣传部供图)

“其实我没什么特别之处,只是专注做MEMS(微机电系统)传感器,坚持在这个领域里探索新知。” 作为西安交大“微纳传感与测试技术”长江学者创新团队负责人,赵玉龙以每年7到10项发明专利的骄人成绩向前冲刺,他先后主持30多个国家重点科研项目,获得国家技术发明二等奖和72项国家发明专利。谈起自己的科研成果,他依然谦逊地说:“我还只是个探路人。”

实现传感器研究“零的突破”

“传感器就是机械的感知神经。”赵玉龙拉开手边的抽屉,里面满满当当都是传感器芯片。他拿出一个芯片兴致勃勃地介绍:“在这个指尖大小的芯片中有很大的乾坤,既有机械结构,又有测量电路和电子转换器等等。这是一个系统工程,我所做的工作就是在这个小小的芯片中实现耐高温、超高压、高过载等功能。”

2000年,蒋庄德院士团队获得国内第一个MEMS研究科技部立项,赵玉龙作为团队中的骨干在这个项目中获得了宝贵的经验,并自此开始了在MEMS传感器领域的求索之路。

MEMS和纳米技术,从上世纪90年代初就成为世界高新科技竞争的制高点;而彼时,作为机械、电子等学科的交叉领域,MEMS技术在国内还属于新兴领域,高端MEMS传感器研发技术的滞后成为掣肘中国精密制造工业的瓶颈难题。赵玉龙在蒋庄德院士带领下,和团队成员一起完成的“耐高温压力传感器”设计“制造关键技术及系列产品”开发,实现了国内高端MEMS传感器研究“零的突破”,解决了航空航天、军工、石化、先进制造等领域高温恶劣环境下的压力、加速度测量难题,打破了国外的技术封锁和垄断,引领带动了国内高端MEMS传感器技术的发展方向。

十几年专注成绩斐然

“要专注,太发散就会失去主心骨。”赵玉龙说:“我所有的创新,都是立足传感器的设计、制造和加工。术业有专攻,创新也要围绕主业,不能为了创新而创新。” 赵玉龙在MEMS传感器及微纳制造领域一扎就是十几年。他创新性地开展了硅隔离SOI薄膜和多层应力匹配薄膜理论和技术研究、MEMS高频响、高精度、微型化、集成化等研究工作,研制出了系列耐高温、高频、超高压、高过载MEMS传感器、MEMS集成多传感器及系统,形成了特种MEMS传感器及其集成传感器等特色研究方向,取得了多项重要的创新成果,先后主持重点课题、项目等30余项,获得72项国家发明专利。

“耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发”以排名第二获得2006年国家技术发明二等奖和2005年度教育部技术发明一等奖;“危化品安全储运状态监测MEMS传感器及系统”以第一完成人获2012年陕西省科学技术一等奖。他的成果在航空、航天、兵器、石油化工、能源以及危化品储运领域等200多家企业得到推广应用。

做“忠恕任事”的传承者

作为博士生导师和“微纳传感与测试技术”创新团队负责人,赵玉龙还承担着“师者”与“长者”的责任。“和善儒雅”是学生和团队成员对他的评价。“君子和而不同”是赵玉龙倡导的团队文化。“他从不搞‘一言堂’,我们有什么不同的意见都可以畅所欲言,不论是用激烈还是温和的方式,赵老师都会很认真地倾听并及时反馈。”赵立波在团队中成长很快,近年来他陆续入选教育部“新世纪优秀人才支持计划”和“陕西省青年科技新星”。

“他虽然是工科教授,但有时候也像人文导师。”博士生李村和赵友这样介绍自己的老师。

“其实我也是传承者。”赵玉龙认真地说:“忠恕任事是我们的校训,也是做人为师的魂。治学如做人,用专业知识授业,以人文精神传道,我的老师们就是这么做的,我也有责任把这种精神传承下去。”


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