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常州创微发布MEMS二维扫描微振镜产品

导读: 国内MEMS光学器件开发商常州创微电子机械科技有限公司(以下简称“常州创微”)近日发布了MEMS二维扫描微镜产品。该产品基于电磁驱动原理,结合半导体工艺设计而成,具有转角大、能耗低、体积小、谐振频率高、单个微镜实现二维扫描、加工工艺成熟等特点。

国内MEMS光学器件开发商常州创微电子机械科技有限公司(以下简称“常州创微”)近日发布了MEMS二维扫描微镜产品。该产品基于电磁驱动原理,结合半导体工艺设计而成,具有转角大、能耗低、体积小、谐振频率高、单个微镜实现二维扫描、加工工艺成熟等特点。

常州创微基于MEMS微镜成功研制了微型投影系统模块与3D线扫描系统,微型投影模块能够将视频和照片投影到任何表面上,具有图像免调焦、高亮度、高画质等特点,而3D线扫描系统可应用于机器视觉、人脸识别等领域,具有速度快、精度高和景深大等特点。

常州创微发布MEMS二维扫描微振镜产品

图1 产品图片

这两款产品可应用于汽车平视显示系统、穿戴式显示、微型投影、光通信等领域。

常州创微发布MEMS二维扫描微振镜产品

图2 产品应用

产品优势:

- 工作温度-40℃~50℃,内部均集成角度传感器,可实现精确控制;

- 体积小,最小微镜模组尺寸8 x 12 x 10 mm,适用于手机应用;

- 抗震性好,可用于车载等震动环境中。

常州创微发布MEMS二维扫描微振镜产品

图3 技术参数

常州创微研发总监沈文江博士告诉麦姆斯咨询记者:“我们知道MEMS器件开发除了好的设计方案外,最关键的还是加工制造环节,成熟的工艺及其优质平台不仅决定了产品的可靠性、一致性的品质要素,而且对成本乃至投放周期有至关重要的影响。为了使产品早日量产抢占市场, 常州创微下足了功夫,除了不断优化设计方案外,从2015年伊始,在全国各地寻找可量产化的研发代工平台,最终与苏州微纳签署NDA建立合作关系,借助苏州微纳中试平台完成对MEMS微振镜的开发及批量生产。”

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