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下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

导读: 据麦姆斯咨询报道,近日,领先的微机电系统(MEMS)和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展会”上展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。

据麦姆斯咨询报道,近日,领先的微机电系统(MEMS)和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展会”上展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。该新平台扩展了Micralyne现有的标准MEMS模块,并为设计人员提供了实现当前气体传感器目标市场所需的小型化、低功耗气体检测结构的方案。

下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

集成微型加热板的金属氧化物气体传感器,芯片尺寸为1.6mmx1.6mm

下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

金属氧化物气体传感器组件

气体传感器市场正在发生巨大变化,主要由大量的消费类应驱动发展,例如应用于物联网领域的各种智能家居和可穿戴设备,实现周围环境空气质量的监测。现有的气体检测技术正在经历新的技术挑战,如成本大幅下降、功率低、选择性提高、不同类型的气体检测,以及较宽的工作温度。

“Micralyne已经看到了亚太地区客户对小型气体传感器的需求增长,为了加速客户的产品设计,我们开发了一套标准工艺,可以快速实现气体传感器的量产,这主要得益于我们在气体传感结构方面的丰富经验,以及十多年的薄膜流量传感器的量产经验。”Micralyne技术副总裁Collin Twanow说道,“我们很高兴能够与日本合作伙伴Adamant一起展示MEMS技术平台。”

Micralyne的MEMS技术平台提供MEMS设计的模块化方法,并通过半定制设备快速实现产品原型开发,加速度量产进度,但不会牺牲产品的质量和一致性。Micralyne从2006年开始就提供标准工艺和MEMS模块,努力降低MEMS研发成本,缩短MEMS产品上市时间。

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