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捷报频传!苏州纳米城MEMS中试平台连续月产破千

导读: 据麦姆斯咨询报道,苏州纳米城MEMS中试平台(苏州微纳)再次传来好消息,继11月月产破千片(6英寸晶圆)后,12月产量再创新高!截至发稿,当月产量已经超过1400片,成为近年来国内成长最快的MEMS批量加工平台。

据麦姆斯咨询报道,苏州纳米城MEMS中试平台(苏州微纳)再次传来好消息,继11月月产破千片(6英寸晶圆)后,12月产量再创新高!截至发稿,当月产量已经超过1400片,成为近年来国内成长最快的MEMS批量加工平台。

捷报频传!苏州纳米城MEMS中试平台连续月产破千

2017年对苏州微纳来说是个丰收年,捷报频出!先是年初实现量产,经过不懈努力,产量爬坡迅速,11月即实现月产量突破千片,全年产值、产量均较2016年实现翻番,并于2017年9月被授予“苏州名牌”称号。

捷报频传!苏州纳米城MEMS中试平台连续月产破千

苏州纳米城MEMS中试平台外景

随着万物互联的数字化智能时代脚步临近,以传感器为核心的感知层是整个物联网的基础,市场需求呈现爆发式增长。MEMS传感器因高精度并行制造具有能耗低,可批量生产的特点,使其不断升温成为热门产业。然而,国内MEMS产品门类依然相对较少,主要还是以惯性器件和压力传感器为主,而且多是中低端产品,创新性强的新器件、新系统和MEMS芯片鲜有出现,导致市场存在着巨大的供需矛盾,大部分需求只能依赖于进口。

国内MEMS产业最薄弱的环节在生产制造,产品从实验室走向市场化过程中,研发与批量化之间缺乏衔接。为此,苏州纳米城早在成立之初就建成了国内首个全开放、市场化运作的MEMS加工平台,填补了产品概念验证与规模代工厂之间的中试空白。平台完全按照代工厂(Foundry)模式建立,体系化管理,从根本上解决了中小MEMS设计企业产品化上的最大难题。

捷报频传!苏州纳米城MEMS中试平台连续月产破千

苏州MEMS中试平台部分MEMS工艺设备

经过近4年的深耕,平台具备了完整的工艺库及各种器件工艺匹配能力。截止目前,业务覆盖华东、华北、西南、华南,服务客户近30家,累计支撑客户完成近百款MEMS芯片的开发生产,涉足领域广泛。不仅有市场化程度很高的消费类及汽车电子产品,例如硅麦克风、压力传感器、气压传感器、温度传感器、流量计等,也有代表前沿技术或是具备市场增长潜力的工业类及通讯类产品,例如MEMS微镜、喷墨头、非制冷红外探测器、气体传感器、RF(射频)MEMS器件等。同时,平台还在较短时间内实现了多款硅麦克风及微镜项目的量产,助力客户将产品快速打入市场的同时,也为平台的良好发展奠定了基础。

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