侵权投诉
当前位置:

OFweek传感器网

MEMS传感

正文

SilTerra发布CMOS片上压电MEMS超声换能器新平台

导读: 马来西亚CMOS和MEMS代工服务供应商SilTerra近日发布了用于指纹识别传感和医疗成像应用的CMOS片上压电MEMS超声换能器(piezoelectric micromachined ultrasound transducer, PMUT)平台(PMUT-on-CMOS)。

据麦姆斯咨询报道,马来西亚CMOS和MEMS代工服务供应商SilTerra近日发布了用于指纹识别传感和医疗成像应用的CMOS片上压电MEMS超声换能器(piezoelectric micromachined ultrasound transducer, PMUT)平台(PMUT-on-CMOS)。这款独特的工艺平台提供了单片解决方案,在CMOS上集成PMUT。PMUT的构建采用了CMOS兼容的压电材料,及表面微机械加工技术。设计人员可以选择SilTerra任何一种180 nm或130 nm工艺节点的传统CMOS、BCD、RF及超低功耗平台,在其顶部构建PMUT。

该平台由相关的CMOS IP和PDK支持,以实现完整集成的片上系统。其PDK支持可配置的PMUT单元,以满足各种市场应用,例如:用于指纹传感的20 MHz PMUT单元,或用于医学成像的5 MHz PMUT单元。SilTerra的PMUT-on-CMOS平台目前已经可用于原型设计制造。

“我们非常高兴为原型设计制造推出这款创新的工艺平台。该工艺凭借最标准的CMOS工艺模块,我们有信心实现和传统CMOS技术相近的可制造性和缺陷密度。通过提供真正的单片整体解决方案,我们显着地降低了器件寄生效应,还提供了较高的填充系数,”SilTerra传感器和MEMS业务高级副总裁Arjun Kumar Kantimahanti说。

SilTerra发布CMOS片上压电MEMS超声换能器新平台

SilTerra新工艺平台打造的PMUT器件

PMUT-on-CMOS平台的部分主要特性包括基于CMOS的氮化铝基PMUT器件,高达25 MHz的谐振频率,9个额外的掩模层,以在传统CMOS芯片的顶部构建PMUT。

SilTerra还提供MEMS-on-CMOS技术,使MEMS设计人员能够构建单个MEMS芯片解决方案,相比传统的双芯片解决方案,能够以更低的封装成本提供更好的产品性能。该公司拥有最先进的CMOS设备,专业提供MEMS-on-CMOS表面微加工MEMS器件。

SilTerra发布CMOS片上压电MEMS超声换能器新平台

SilTerra新工艺平台打造的PMUT器件(实际硅视图)

SilTerra是一家CMOS和MEMS代工服务供应商,提供CMOS逻辑器件、高压、混合信号、RF、BCD、功率、硅光子以及低至90 nm特征尺寸MEMS器件的制造和设计支持服务。SilTerra晶圆厂的设计产能为每月46000片8英寸晶圆,目前为美国、台湾、韩国和中国的客户提供服务。

SilTerra于2001年开始商业化生产,其工厂位于马来西亚的Kulim高科技园区,并在美国加州圣何塞和台湾新竹设有销售和营销办事处。

声明: 本文系OFweek根据授权转载自其它媒体或授权刊载,目的在于信息传递,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责,如有新闻稿件和图片作品的内容、版权以及其它问题的,请联系我们。

我来说两句

(共0条评论,0人参与)

请输入评论

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码: