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49所自主研发高端压力传感器 “三高”品质赢得市场青睐

导读: 此次传感器产业高峰论坛,49所产业部重点推出自主研制的高端压力传感器,包括高精度压力传感器、高温MEMS压力传感器、高温压力传感器及变送器等系列产品。

据麦姆斯咨询报道,近日,“2018传感器产业高峰论坛暨中国电子元件行业协会敏感元器件与传感器分会年会”在辽宁沈阳隆重举行,230余家企业代表欢聚一堂。作为军工国防传感器之娇子,中国电子科技集团公司第四十九研究所(以下简称:49所)深度参与本次盛会并展示了多款高端压力传感器,广受专业人士的青睐和垂询,耿振亚研究员提供了相关技术应用咨询。此次传感器产业高峰论坛,49所产业部重点推出自主研制的高端压力传感器,包括高精度压力传感器、高温MEMS压力传感器、高温压力传感器及变送器等系列产品。

据了解,传感器在恶劣环境特别是在高温、多相介质、高冲击高振动环境要进行长期稳定工作,对传感器的结构设计、原材料的选用、标定过程试验控制等都要有较高要求,而高温压力敏感芯片的自主制作是其中重要环节,比如高温压力传感器敏感芯片的制作选用SOI硅晶圆,在高温压力芯片的MEMS工艺制造中要严格控制腐蚀参数和离子注入能量,有效电阻刻蚀为隔离槽制作,电极也是全新工艺多层溅射和多层刻蚀等。

49所产业部高端压力传感器系列产品采用自主研制的SOI硅压阻式MEMS压力敏感芯片,进行隔离膜片OEM封装制作MEMS压力器件,彻底消除PN结本征漏电问题,产品全温区补偿后静态精度达到0.1%以上,可长期工作在150℃、200℃高温温度环境。传感器产品具有结构坚固、灵敏度高、抗振性能好、耐受冲击、低功耗、长期工作稳定等特点。

49所自主研发高端压力传感器 “三高”品质赢得市场青睐

此次展示的产品主要有:SOI高温MEMS压力敏感芯片;高温压力传感器器件;高温(200℃)MEMS压力传感器;高温(150℃、200℃)压力传感器及变送器;高精度压力传感器等。高端压力传感器产品应用领域包括:航天航空、石油开采深井测量与控制、医疗灭菌设备系统、空气压缩机、高温环境液压过程控制等,传感器系列产品应用也可以扩展到汽车电子发动机控制系统和发电厂动力系统。上述压力传感器产品均经过严格的测试检验,以保证高温环境的测量精度和产品可靠性。

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