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Nanusens众筹100万欧元 利用标准CMOS工艺制造纳米传感器

导读: Nanusens的技术简化了产品生产。到目前为止,传感器都无法与标准CMOS生产线兼容,需要使用不同的工艺来生产MEMS产品。Nanousens的多项未申请的专利技术使其能够采用与其他芯片通用的标准CMOS工艺来制造纳米传感器。

据麦姆斯咨询报道,纳米技术的初创企业Nanusens,日前将其总部从西班牙巴塞罗那迁至英国,并通过Crowdcube(英国最大股权众筹平台)从786人处众筹超过100万欧元(941,950英镑)资金。

Nanusens众筹100万欧元 利用标准CMOS工艺制造纳米传感器

此次众筹是Nanusens的pre-A轮融资,用于帮助公司加大研发投资和扩大员工规模,加速产品推广。

“公司最初的众筹目标是40万英镑,我们已经被那些有兴趣投资我们新技术的人包围了。”Nanusens的首席执行官Josep Montanya i Silvestre博士说,“但这些投资者大多数都来自英国并精通技术研究,他们希望通过使用英国企业投资计划(EIS,一项鼓励对英国公司进行投资的计划)来进行投资。为了符合EIS投资条件,我们将公司总部从巴塞罗那迁到了英国。历经几个月才得到EIS认可,这期间我们一直保持Crowdcube开放状态,直到公司获得正式批准,我们获得的投资比预期增加了一倍多。”

Nanusens的技术简化了产品生产。到目前为止,传感器都无法与标准CMOS生产线兼容,需要使用不同的工艺来生产MEMS产品。

Nanousens的多项未申请的专利技术使其能够采用与其他芯片通用的标准CMOS工艺来制造纳米传感器。

这种创新技术大大降低了传感器的尺寸和成本,并将产品上市时间缩短了85%。Nanusens相信,其颠覆性技术将彻底改变传感器市场,满足智能手机、可穿戴技术和物联网设备对低成本传感器日益增长的需求,这已经使传感器市场成为了价值数十亿美元的产业。

在Nanusens的工艺中,使用HF蒸汽(vHF)在钝化层的焊盘(pad)开口区刻蚀出金属层间介电质(IMD),以获得纳米传感器的传感结构。然后将通孔密封,根据需要对芯片进行封装。

由于该公司传感器仅采用了标准的CMOS工艺,并且能够直接和所需要的有源电路集成,因此,其传感器能够获得和CMOS器件一样的高良率。

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