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MEMS传感器的常见应用领域

2021-03-05 13:27
博科观察
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我们已经知道,「MEMS(微机电系统)传感器」是采用微电子和微机械加工技术生产出来的新型传感器。得益于在微米尺寸工作的特性,MEMS可以完成一些传统机械传感器所不能实现的功能。这也成就了MEMS传感器相对于传统传感器的一些优势,例如:体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、成本低、适于批量化生产、易于集成等。

作为一种微米尺度的机械系统,MEMS中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统,这些系统的大小一般介于微米到毫米之间。

在这种尺度范围内,日常的物理经验往往不适用。例如,由于MEMS的面积体积比,比一般日常生活中的机械系统要小得多,也因此,其表面现象(如静电、润湿等)比体积现象(如惯性或热容量等)更重要。基于这些限制,MEMS一般通过类似半导体产业的加工技术(如表面微加工、体型微加工等技术)来制造。包括由加工方法改动而来的一些加工方法,如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等。

常见的MEMS应用有:

医疗领域的无创胎心检测、血压测量

喷墨打印机中作为压电组件

用于汽车电子中测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力,以及安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等

数字微镜芯片

微型麦克风阵列

微型投影仪

手机摄影摄像系统中MEMS Drive用于防抖等

声明: 本文由入驻维科号的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

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