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MEMS微纳制造系列简报——惯性测量单元（IMU）传感器

随着新一轮科技革命和产业变革的加速演进，5G、人工智能、物联网等基础设施日趋完善，无人驾驶、无人机、VR／AR等终端应用技术商业化规模快速增长，而连接新一代信息技术的基础技术与终端应用的——以MEMS为核心的智能传感器，正处于爆发阶段

纳米压印传感器 2022-01-19

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