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在制药、生物技术和电子等精细化行业中，实验或生产都需要高质量的高纯水，而在许多高科技和实验室设备中，有机物会阻碍高纯水的生产。短波长的紫外线（185纳米）可以有效地减少高纯水中的总有机碳。紫外线氧化有机物的反应过程是产生氧化能力很强的游离氢和氧，将有机物氧化成水和二氧化碳
超纯水（Ultrapure water）又称UP水，其电阻率大于18 MΩ＊cm，或接近18．3 MΩ＊cm极限值（25℃）。
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