真空气体流量的测控方法

2023-11-06 15:14

真空度是指单位体积内所含气体分子数量的少与常压下的气体分子数量。在某些特定的应用场景中，需要在真空环境下进行气体的流量测量。比如，在半导体工业中，需要将气体注入到真空腔体中，而精准的气体流量控制则是保证这个过程成功的关键之一。在这种情况下，如何进行准确可靠的流量测量就显得尤为重要。

测量真空度的方法有气压法、气体流量法、热导法、电离法、质谱法和残留气体分析法等。这些方法各有特点，适用于不同范围的真空度测量。在实际应用中，根据需要选择合适的测量方法，以确保测量结果准确可靠。下面工采网小编通过本文介绍一下真空环境气体流量的测控方法。

真空状态下, 气体流量的测量具有如下特点 :

(1) 流量密度小, 限制了涡街流量计与超声流量计的正常使用。对于前者相应的气流推力过小,对于后者则会产生阻抗匹配的困难。

(2) 不允许引入明显的压力损失。真空管道上安装流量计后增大了阻力, 产生较大的压损将使动力损耗大大增加, 不利于节能。因而孔板流量计、涡轮流量计、容积式流量计等均不适用。

（3）流量计在负压管道上安装后, 如果存在泄漏很难觉察, 不仅会浪费动力, 而且会严重破坏内部气体环境。

真空气体流量的测量常见于测量真空气流的过程,即利用气体流量计测量真空开关内气体流量的方法来检测真空度。在测量过程中，先将气体流量计连接到真空开关上，然后通入一定的气体，测量气体通过真空开关的流量，从而计算出其真空度。需要注意的是，测量气体流量时应保证流量计与真空开关之间的管路尽量短，以减少气体泄漏的可能性。

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原文标题 : 真空气体流量的测控方法