SOI衬底
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如何借助高均匀性的 SOI 优化衬底在 MEMS 中实现多种设计创新？
作者：Alain DELPY，Soitec 业务发展经理微机电系统 （Micro－Electro－Mechanical Systems， MEMS） 是迄今最具潜力的 CMOS 传感器与驱动器电子器件集成解决方案
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