MEMS
MEMS一般指微机电系统。微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技查看详情>术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
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MEMS为何开始火热？
随着歌尔微IPO申请过会，国内MEMS又迎来了一波热潮。作为唯一上榜全球MEMS厂商十强的中国企业，歌尔微的上市让人们将目光再次注视向这个领域——MEMS。MEMS的高门槛MEMS技术于1980年代发
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如何借助高均匀性的 SOI 优化衬底在 MEMS 中实现多种设计创新？
作者：Alain DELPY，Soitec 业务发展经理微机电系统 （Micro－Electro－Mechanical Systems， MEMS） 是迄今最具潜力的 CMOS 传感器与驱动器电子器件集成解决方案
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MEMS微纳制造系列简报——惯性测量单元（IMU）传感器
随着新一轮科技革命和产业变革的加速演进，5G、人工智能、物联网等基础设施日趋完善，无人驾驶、无人机、VR／AR等终端应用技术商业化规模快速增长，而连接新一代信息技术的基础技术与终端应用的——以MEMS为核心的智能传感器，正处于爆发阶段
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芯镁信推出MEMS低功耗甲烷气体传感器：可实现脉冲式供电
国内领先的MEMS器件设计公司苏州芯镁信电子科技有限公司（以下简称“芯镁信”）宣布推出MEMS甲烷气体传感器ICM201，该传感器响应速度快，在脉冲式供电下可实现低于10mw的功耗。防患未“燃”，甲烷
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坚持研发和创新，MEMS传感器独具匠心
【哔哥哔特导读】目前，芯感智已经形成了从研发设计，封装测试，模组标定到方案开发等较为完整的MEMS产业链体系，重视产学研投入，已在传感器领域取得了突破。与传统的传感器相比，凭借微型化、低功耗、高可靠性
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2022年中国MEMS传感器应用市场现状及发展前景分析
MEMS传感器行业主要上市公司：目前国内MEMS传感器行业的上市公司主要有歌尔股份(002241)、赛微电子(300456)、士兰微(600460)、华润微(688396)、高德红外(002414)等。本文核心数据：市场规模
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重磅！2021年中国及31省市MEMS传感器行业政策汇总及解读（全）
MEMS传感器行业主要上市公司：目前国内MEMS传感器行业的上市公司主要有歌尔股份（002241）、赛微电子（300456）、士兰微（600460）、华润微（688396）、高德红外（002414）等
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干货！2021年中国MEMS传感器行业龙头企业分析
MEMS传感器行业主要上市公司：目前国内MEMS传感器行业的上市公司主要有歌尔股份（002241）、赛微电子（300456）、士兰微（600460）、华润微（688396）、高德红外（002414）等
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2021年中国MEMS传感器行业龙头企业分析——敏芯股份：IDM模式助力国产化替代、研发项目国际领先
MEMS传感器行业主要上市公司：目前国内MEMS传感器行业的上市公司主要有歌尔股份（002241）、赛微电子（300456）、士兰微（600460）、华润微（688396）、高德红外（002414）等
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MEMS气体传感器种类及优点
在物联网的推动下，气体传感器的应用日益广泛，逐渐向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。其中，具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料的气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测。M
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西人马率先发布国内首款压电MEMS语音加速度计
近日，西人马率先在国内发布了首款MEMS压电语音加速度传感器。作为国内MEMS领域集芯片设计、制造、封装、测试于一体的IDM芯片企业，西人马动作频频，此次发布的MEMS压电语音加速度传感器可以有效滤除环境噪声，不仅可以输出单端模拟量，更重要的是，能拾取高频宽带语音
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芯镁信推出车规级MEMS氢气传感器模块：快速响应时间实现行业突破
国内领先的MEMS器件设计公司苏州芯镁信电子科技有限公司(以下简称“芯镁信”)宣布推出针对氢燃料电池汽车氢气泄漏检测的传感器智能模块GTM-71，该模块突破行内响应时间T80小于2s，首次实现T90小于2s的快速响应时间，同时通过了CNAS的计量校准、ELV等认证
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西人马产品总监谢巍博士：MEMS压力传感器在民用航空领域中的应用
MEMS压力传感器产品是西人马的明星产品，为了满足市场对不同应用场景的需求，西人马一直在扩充自己的MEMS压力传感器产品矩阵。
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全球MEMS高速增长，中国MEMS器件需求增速高于全球
未来，随着全球电子制造产业链加速向亚太地区，转移，凭借成本等优势，MEMS产业重心也将不断东迁，亚太地区的MEMS产业规模也将持续增长。
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国内MEMS传感器龙头企业敏芯股份全景分析
敏芯股份是国内MEMS传感器领先企业，产品包括MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，用于消费电子、汽车、医疗、通信和国防等领域。
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国产MEMS品牌正崛起 西人马凭何立足MEMS传感器市场？
如今的MEMS芯片及传感器市场，除了历史悠久的国际品牌，许多中国初创芯片公司也进入了大家的视野，这其中就包括2015年成立的西人马公司。虽然西人马在MEMS芯片及传感器领域起步较晚，但却走出了一条不同于其他企业的自主创新之路。
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MEMS传感器产品供应商通用微科技（GMEMS）完成超亿元B轮融资
GMEMS通用微科技宣布完成超亿元B轮融资交割，由鼎青投资、常春藤资本、汉桥资本、浙商创投、力合资本、普华资本等机构共同投资。
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产业观察 | 高科技的幕后英雄——盘点MEMS产业前行之路
MEMS传感器是物联网、人工智能、5G等新一代信息技术的感知基础和数据来源，已成为推动经济社会发展的关键基础与重要引擎。本文梳理了MEMS概念与分类、技术优势、应用领域及市场格局，探讨了MEMS产业链现状和特点，分析了产业发展机遇与趋势，并对我国如何实现产业升级提出了建议
传感器 2019-07-30 -
MEMS翘楚耐威科技斥资3亿投北京集成电路基金，意欲何为？
近日，耐威科技拟作为新增有限合伙人，使用3亿人民币参与投资北京集成电路基金。耐威科技此举加快产业优质资源的有效整合，增强公司的工艺开发与晶圆制造能力，进一步提升公司综合实力 。
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2019年将成MEMS激光雷达技术路线元年
在从机械式激光雷达向固态激光雷达的演变过程中，一些企业选择直接进入全固态激光雷达，也有许多企业深耕于混合固态技术路线的MEMS激光雷达。那么，2019年真的会成为MEMS激光雷达技术路线元年吗？
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MEMS传感器的下一个春天会是汽车市场吗？
在汽车电子控制系统的快速增长的市场需求下，汽车传感器技术不断发展。未来汽车传感器的发展总体趋势是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工艺制成的新型传感器。MEMS技术传感器成为汽车传感器的主要部件。
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Bourns推出MEMS环境传感器
美国柏恩Bourns全球知名电子组件领导制造供货商，今天推出了微机电系统（MEMS）环境传感器，Bourns精密传感器（BPS）系列提供的产品分别为三个压力传感器系列与一个湿度传感器系列。
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MEMS传感器让自动驾驶车辆防患于未然
据美国国家高速公路交通安全管理局统计，94%的严重车辆事故都是由于驾驶员的操作失误而造成的。为了让自动驾驶的汽车不出现误操作，高精度、高可靠性的传感器是必不可少。
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MEMS传感器产业跨国公司市场份额超六成
目前，我国国内供给能力不足，跨国公司占据超过60%的市场份额，特别是高端产品几乎全靠进口补给，80%的芯片依赖国外；剩余的份额也只要集中在几家上市公司手中。
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智能手机饱和后 MEMS还有哪些新出路？
自动化包括智能工业、智能驾驶、无人驾驶等。不管是智能工业，还是智能驾驶，传感器必不可少，传感器在这些领域的作用比在手机里起到的作用更大，而且工业、汽车领域与传感器的要求更加严格。
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智能手机饱和了 MEMS还有哪些新出路？
自动化包括智能工业、智能驾驶、无人驾驶等。不管是智能工业，还是智能驾驶，传感器必不可少，传感器在这些领域的作用比在手机里起到的作用更大，而且工业、汽车领域与传感器的要求更加严格。
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智能手机饱和了 MEMS还能寻找哪些新出路？
自动化包括智能工业、智能驾驶、无人驾驶等。不管是智能工业，还是智能驾驶，传感器必不可少，传感器在这些领域的作用比在手机里起到的作用更大，而且工业、汽车领域与传感器的要求更加严格。
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瞄准先进工业感测应用 意法半导体推出新型高精度MEMS传感器
意法半导体（STMicroelectronics，简称ST）将于今年面向工业市场推出全新的高稳定性MEMS传感器，履行其推动先进自动化和工业物联网（IIoT）市场发展的承诺。
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未来 “传感器/MEMS+解决方案”的营销策略才是正途
据麦姆斯咨询报道，近期，Roger H. Grace开办了主题为“MEMS和传感器的市场营销：是矛盾修饰法还是真正机遇？”的系列教程。本次介绍其中一章，主题为：是将“S”（指Solution，解决方案）重新引入MEMS，以及剖析这样做将面临的挑战。
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中国首条专注于MEMS制造的8英寸大规模产业化生产线成功投入运营
罕王微电子投资建设的中国首条也是唯一一条专注于MEMS的8英寸大规模产业化生产线已经成功投入运营。
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MEMS的未来在哪？埋藏在创新的学术论文中
压力传感器催生了喷墨打印头，从而产生了MEMS数字微镜阵列（DLP）和美国亚德诺公司（ADI）的MEMS加速度计在安全气囊的首次应用，并达到比传统的滚球式机械触发能更快打开安全气囊的目的。
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手机医疗成像应用的MEMS超声波传感器赢得FDA首肯
据麦姆斯咨询报道，Butterfly Network公司的超声波芯片技术申请通过了美国食品和药物管理局（FDA）的13项临床检验，这是迄今为止对超声波传感器最大范围的许可。将这种“口袋式”传感器插入iPhone，可有效扩大诊断性超声成像的可用范围。
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如何抓住转型中的MEMS市场机遇？
据麦姆斯咨询报道，多年来，MEMS市场混迹着太多公司，但无奈机会又太少。虽然有些器件逐渐商品化，但其成本无法跟上售价下降的步伐。即使是在某一更专业、利润更高的领域，如基于MEMS技术的麦克风和扬声器行业，市场规模也太小，只能支撑少数几家MEMS公司的运营。
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国内首条8英寸产业化纯MEMS产线落成，罕王微电子何来如此大的决心
罕王微电子CTO Douglas Ray Sparks宣布该公司在抚顺建成国内首条8英寸纯MEMS传感器产线，实现产业化运营，该产线的良率达到95％，产能为1万片晶圆／月，目标是为国内MEMS企业代工。
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深迪半导体发布两款新型MEMS麦克风产品
据麦姆斯咨询报道，随着可穿戴智能运动终端、手机、蓝牙耳机等产品市场对符合三防（防尘、防水、防震）要求的产品需求进一步增加，深迪半导体因应市场需求，近日发布两款具备防水防尘能力的新型MEMS麦克风产品：SMA111、SMA121。
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深迪发布首款支持TDM接口数字硅麦 充实既有MEMS麦克风产品线
据麦姆斯咨询报道，深迪半导体持续深耕MEMS麦克风产品市场，近日发布集成TDM功能适合智能音箱等产品应用的高性能产品SMD7A0，进一步充实既有MEMS麦克风产品线。
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ADI：整合MEMS传感器 实现更好的室内定位体验
MEMS传感器在汽车行业已经拥有20年的应用历史，可靠性高，功耗低，尺寸小，在手机和视频游戏领域的成功应用充分表明，它具有很强的商业吸引力。然而，不同器件的性能水平大不相同，适合游戏的器件并不能解决高性能导航问题。
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