Queensgate发布NX纳米传感器

2015-12-08 10:41

　　Queensgate发布了NX纳米传感器，其灵敏度等级可测量出原子级的位置变化。采用电容测微法，非接触式位置测量系统依赖于两个传感器板，即一个靶子和一个探头，两者之间形成一个平行板形电容器。使用一个合适的电子控制器就可以精确地确定这两个板块的间距。NX纳米传感器的关键应用为阶段反馈、振动测量、计量、变形测量、精密制造、漂移测量、精密光束控制和显微镜。

　　通过NX纳米传感器就可确定位置边缘超过7pm，线性度为0.02%，而带宽在50Hz到高达10KHz。系统调整是有规定的，所以不是位置精度提高了就是相反地，动态运动的响应提高了。圆形、方形或者矩形的板块形状可进行选择。可提供22.5平方毫米、113平方毫米和282平方毫米的有效面积。与NX纳米传感器一起工作，NS2000控制器模块可测量平行板形电容的任何变化，随后产生与靶子和探针传感器板位置的差异直接成正比的模拟电压。

　　非接触式测量和非自动加热机制意味着NX纳米传感器产品并不会影响其测量的值，从而实现真正的纳米级测量。此外，他们还使用了非滞后技术保证了位置的可重复性。在建设中有很多材料选项可供选择使用；超因瓦、铝合金、不锈钢和陶瓷，这些材料可实现热特性与特殊应用中为了预防位置漂移所要求的稳定性相匹配。超高真空、辐射、非磁性和低温变体均可指定。（文/Moon译）