N2O传感器在可用于半导体电子行业中高纯度氧化亚氮浓度检测

2023-07-14 11:56

在特种气体的各个应用领域中，特种气体广泛应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏等行业，电子半导体领域对特种气体的纯度和质量稳定性要求最高。作为制造集成电路的关键材料，随着下游工业技术的快速迭代，对特种气体的纯度和精度要求不断提高。在工艺过程中，气体纯度要求通常高于6N（99.9999%）。

半导体行业对气源及其供应系统有着严格的要求。电子气的深度净化难度大，纯度是衡量气体质量最重要的指标。芯片加工过程中，气体纯度的微小差异将导致整个产品性能降低甚至报废。

在电子工业中，高纯笑气在薄膜晶体管（TFT-LED）和OLED显示屏的制作工艺中起着至关重要的作用，需求迅速上升，其未来发展前景良好。高纯度的一氧化二氮用于微电子和光电子器件的生产。在半导体和发光二极管芯片的制造中，笑气反应生成的SiO2薄膜沉积在硅衬底上，作为缓冲层，防止有害杂质的进入。N2O的纯度直接影响SiO2薄膜的纯度，影响电子器件的性能。

为了保证电子电路产品品质可以使用笑气传感器来实时监测笑气纯度，工采网代理了意大利Novasis 红外笑气传感器/N2O传感器模块 - NG2-F-3，采用双通道非分光红外(NDIR)方式，可自动温度补偿，能需求集成到现有的测量系统或监测仪器中。