下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

2017-10-13 10:56

据麦姆斯咨询报道，近日，领先的微机电系统（MEMS）和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展会”上展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。该新平台扩展了Micralyne现有的标准MEMS模块，并为设计人员提供了实现当前气体传感器目标市场所需的小型化、低功耗气体检测结构的方案。

集成微型加热板的金属氧化物气体传感器，芯片尺寸为1.6mmx1.6mm

下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

金属氧化物气体传感器组件

气体传感器市场正在发生巨大变化，主要由大量的消费类应驱动发展，例如应用于物联网领域的各种智能家居和可穿戴设备，实现周围环境空气质量的监测。现有的气体检测技术正在经历新的技术挑战，如成本大幅下降、功率低、选择性提高、不同类型的气体检测，以及较宽的工作温度。

“Micralyne已经看到了亚太地区客户对小型气体传感器的需求增长，为了加速客户的产品设计，我们开发了一套标准工艺，可以快速实现气体传感器的量产，这主要得益于我们在气体传感结构方面的丰富经验，以及十多年的薄膜流量传感器的量产经验。”Micralyne技术副总裁Collin Twanow说道，“我们很高兴能够与日本合作伙伴Adamant一起展示MEMS技术平台。”

Micralyne的MEMS技术平台提供MEMS设计的模块化方法，并通过半定制设备快速实现产品原型开发，加速度量产进度，但不会牺牲产品的质量和一致性。Micralyne从2006年开始就提供标准工艺和MEMS模块，努力降低MEMS研发成本，缩短MEMS产品上市时间。