美国最大的MEMS技术和平台方案独立提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司为北京大学微纳电子学研究院的三名（个）优秀学生（团队）颁发了2018年度MEMS专项奖学金，以鼓励他们在MEMS工艺技术研究与开发领域所做的贡献，并激励更多未来之才持续投身MEMS制造工艺技术的创新研究。这是IMT为北京大学微纳电子学研究院颁发的第四届MEMS专项奖学金，也标志着双方开展战略合作已有四年。本年度最终获颁奖学金的是黄东、李君实（团队），朱佳（个人），李婷宇、徐涵、周文博（团队）。

IMT公司积极参与中国半导体生态发展，与众多伙伴开展了广泛而深入的合作。除了为中国领先的器件设计公司代工生产先进的MEMS产品，IMT还与诸多研究机构携手，致力于MEMS制造工艺技术的研发。IMT和北京大学微纳电子学研究院的战略合作始于2015年，作为该合作的一部分，IMT在MEMS研究和开发领域设立了专项奖学金，每年向北京大学的三名（个）学生（团队）提供奖学金。该奖学金计划是首项在中国专门针对MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金。

随着IMT和北京大学微纳电子学研究院的战略合作持续深化，越来越多的学生开始在MEMS工艺技术研究方面投入精力，并参与到MEMS专项奖学金的角逐中来。在对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后，北京大学微纳电子学研究院最终将2018年度奖学金授予了黄东、李君实（团队），朱佳（个人），李婷宇、徐涵、周文博（团队）。这三组IMT奖学金获得者的研究方向分别为用于生物MEMS应用的先进微针阵列电极制造，用于生物传感的三维空腔光学纳米天线的制造，用于液体活检应用的聚一氯对二甲苯（Parylene C）微孔过滤膜的制造和功能化。他们的研究成果在MEMS工艺技术方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及应用中具有发展潜力和前景。

MEMS已经作为一种整合技术出现在诸多不同的应用中，例如物联网、无人机、智能手机、可穿戴电子产品、生物领域和机器人等应用，新型的MEMS器件正在被快速地开发并推出。为了不断推动MEMS技术的创新，IMT和北京大学微纳电子学研究院等领先的研究机构结为合作伙伴并积极开发先进制造工艺技术，以应对众多领域快速发展的需求。

“很高兴又一次代表IMT为北京大学微纳电子学研究院的优秀学生颁发MEMS专项奖学金。双方合作四年以来，我们看到学生们开展的研究越来越深入，创新性也越来越强。这让我们对MEMS产业的前景抱有极大的信心。”IMT首席执行官Craig Ensley先生表示。“中国是全球半导体产业最重要的市场之一，IMT始终对中国的半导体产业发展保持高度关注，同时我们也期待利用自己全球领先的MEMS器件加工技术和产业经验助力中国的MEMS技术创新、产品开发、国际合作迈上一个新的台阶。”

“通过与IMT这样全球领先的MEMS制造服务公司合作，尤其是借助MEMS专项奖学金计划，我们为青年才俊们开启了一扇大门，有助于扩展他们的视野，并为他们开展新一代MEMS技术的创新研究提供了很好的平台。”北京大学微纳电子学研究院王玮教授表示。“多年来，北京大学微纳电子学研究院一直致力于MEMS新技术、新工艺的研发，以及为行业培养更多的优秀工艺研发人才。希望通过我们与IMT甚至更多机构的共同努力，能够推动MEMS技术在中国乃至全球快速发展并实现在业内的更广泛应用。”